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至于第三点,那就是洁净室,洁净等级要求更高,无尘车间内的空气要比外面干净倍以上。

第四,则是高数值孔径的反射镜,要求表面非常的平整。

如果放大到华国那么大,表面的起伏度也要低于一根头发丝。

这几个难点,是研发euv光刻机的拦路虎。

其中,光源这些,要靠科宇光源获得突破;反射镜,要靠欧普光电。

此外,就是规避专利了。

整个团队,已经划分了个组,目前主要是进行理论设计。

在这一方面,江成一个组一个组地进行了交流,也听了下大家的一些想法。

和听他们自我介绍不一样,江成这会儿谈的很仔细,对大家的一些好的想法,进行了深入地探讨,一边交流,一边模拟。

对于这些研发工程师来说,江成又一次被神话了。

不仅哪一块都懂,还只是听了听大家介绍,就把大部分(其实是全部)人都记下了。

这种记忆力,真的是太过于妖孽。

当然这一次交流,也足足花了江成天的时间,这才把整个研发方向,初步有了一个想法。

那么首先,就是如果设计发出n的光。

阿斯麦耳采用的是轰击锡滴,但江成选择的是另一个路径。

那就是利用两束激光互相轰击产出极紫外光。

当然,这还只是一个设想,但江成通过体内模拟实验室,认为这是一个好的方向,为此初步选定了该方案。

至于这些激光的要求,可以根据理论设计的参数,同科宇光源具体对接沟通,让他们生产研制即可。

其次,就是反射镜。

和duv镜头不一样的是,euv光刻机中,更多是需要反射。

原因其实很简单,那就是n的光波长,是无法透过目前用的透镜材料,也找不到那么高透过率的材料制造透镜。

因此只能选择反射。

江成想着,又得让冼珠峰用心磨镜子喽。

此外,还有更高精度的双工件台、测量、校准等系统,都是非常不容易实现的。

不过好在,n的浸没式光刻机已经在江成的带领下实现了国产,这对于整个光刻机产业链的提升是非常大的。

“江董,您一来,大家心里就稳了,知道要来做什么了。”楼向晚笑着说道,“之前招来了之后,大家都不知道做什么,有些迷茫,讨论是很多,但一直没有形成有效的方法。”

原本他还是不知道江成为什么要花这么多时间,一个个小组地交流过去,但现在,他明白了。

在江成的心里,通过这次专门的交流,已经为自己的euv光刻机设计描绘了一个蓝图。

大概的设计草图。

江成有些累地揉着眼睛边上的穴道,叹了口气,“你对这个技术还是不够熟悉,我打算把连广浩也调过来,让他继续带队研发。”

“那敢情好,我做人事管理这些倒顺手,真让我钻研技术,还是没这个本事。”楼向晚挠挠头,因为在魔都微,他还是花了不少时间学习相关的知识。

但毕竟不是学这个专业的,也不像江成这种挂逼,只能说是懂一点,但不算太懂。

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