第271章 毕竟再难,也得跨出第一步
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整机被江成整饬得非常不错,一些小问题,都解决了,就是外观,也有封装板,整的有点像高科技光刻机一样了。
就是那种一看,就觉得这东西高端,不是随随便便整出来的。
当然,实验的结果也非常不错,在江成带领大伙继续优化调整,特别是把每一个步骤应当以什么速率,运行多少时间等工艺进行优化后,总体光刻成效是不错的。
而且通过实验性质的一次多重曝光,最终工艺最小节点达到了n。
白春华是华科院院长,对这一块还是有了解的,在亲自查看了测量参数后,双手激动的不得了,“是真的,我们的光刻机真的突破了,n的工艺,就在眼前!”
通过浸没系统,把n的激光波长整到了n,一次曝光就可以达到最小工艺n!
在经过多重曝光技术,就可以挺进n,n的制程。
易国彬也是抬着大拇指给了江成,“我就知道,你小子入主魔都微,一定能够给我们一个惊喜的,没想到这么快就看到了!”
一旁的贺明老脸一红,“易部长,您说得对,江董在光刻机领域的研究,真的是华国独一人,这一块,我是极为敬佩的!”
易国彬点点头,“行了,知道你这一次没给研发添乱,今后还是好好配合好江董吧。”
“明白的。”贺明应了声。
现如今,江成整出了浸没式光刻机,他在魔都微的地位更加牢固了。
那些股东们,怎么可能会把江成换掉
唉,算了,做个执行者也是不错的。
江成微微笑着,“这里还是太压抑了,白院长、易部长,咱们回会议室吧。”
“嗯。”两人带着笑容点点头。
随后,又和这些研发工程师们一一握手,表达了感谢。
这才一同换去了实验服,到了魔都微的董事会会议室。
“江董,现在来看,达到n的工艺,难不难”易国彬先问了一句,他毕竟不是专业的,虽然了解一些,但目前看到的是实现了n工艺。
江成解释道,“从n工艺到n,需要fb工厂工程师这边共同提升工艺水平,通过多重曝光的技术来实现。这个技术,实现难度不大。”
“那就好。”易国彬有些放心了。“现如今,互联网上已经传开了,咱们研发出来了n的国产光刻机,广大网民翘首以盼,我们不能让他们失望啊!”
江成微微点头,“这个我们明白的,目前我们在对这款样机进行再优化,同时已经批量采购了一批部件,届时可以供应国内外fb工厂。”
“价格要多少”白春华问。
“目前还在做调研核算,因为样机这一块,我们是改进了数十次,成本核算这一块会困难一些。”江成道,暂时没有透露价格,“但我相信,比起阿斯麦耳的duv光刻机,还是要省钱不少的。”
白春华点点头,“那就好,验收时候,初定月下旬,来得及吗”
“验收没问题,我们的样机随时可以。”
“成,那我们就在国庆前给大家一个好消息!”白春华看了一眼易国彬,笑着说道。
整机验收,联盟会组织一批更专业的人,包括国内fb厂的技术代表也会过来,这样可以一起看看,这机子成不成,能不能商用上。
易国彬又问了一句,“下一步,江董有什么打算了”
“目前来说,就是出货一批型,”江成大概地说道,“明年的话,在改进这个版本的基础上,我想就euv光刻机,启动研发。”
届时,江成打算去找过一个地方。
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