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“各位领导、企业家朋友们,我是魔都微电子董事长兼ceo的贺明,首先非常感谢大家的信任,将我选为联盟主席团副主席,在此,我郑重承诺,全力支持和配合光刻机产业联盟事业,力争在最短的时间内实现n工艺的ic前道制造光刻机的成功研发。”

随后,贺明在t汇报中,就企业目前研发的产品进行了宣传。

包括刚研发成功的n分辨率的前道制造光刻机,采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术。

目前,国内仅有一间fb企业采用这么一款。

据说也是不是特别成熟,良品率对比阿斯麦耳的二手老旧光刻机都比不了。

此外,还有封装光刻机,可达到n的制程,研发成功之后,迫使国外相关类型的光刻机降价了以上。

而后,在问题方面,贺明哭起了穷。

“……研发先进制程的前道光刻机一直是我们公司的努力方向,但目前来说,由于研发成本极高,n工艺的浸没式光刻机整机需要的重要部件仍然未研发出来,影响了我们的下一步的整机研发……”

……

在汇报之后,便是直接的讨论和提问。

“请问贺总,贵公司的n前道制造光刻机是否已经立项,预计需要多少资金研发”

贺明拿着话筒回道,“目前已经立项,预计需要研发资金亿以上,而且需要看各重要部件供应商的产品研发情况。”

但下一个企业代表的发言就有些犀利了。

“贺总,我说实话,我对贵公司的研发能力是存疑的。n分辨率的前道制程光刻机,问题也是颇多。如何让我们相信你,一定可以研发出来新型的光刻机呢”

直击问题,非常尖锐。

就是台上的贺明脸色都不好了。

江成本有些昏昏欲睡,但听到这话,和大伙一样都不困了,看着提问的人。

却是一向以耿直著称的华兴微老总王云飞。

贺明顿了顿,道,“任何企业的产品,倘若只停留在了研发,而没有生产产商使用,那都无法解决实际生产中遇上的问题,更不提持续研发改进。相信联盟的成立,一定能够聚起合力,共同推进更高制程光刻机研发步伐。”

他这话,其意思就是我研发出来的产品,没人用没人反馈问题,怎么继续研发

当然了,没钱、没有动力是关键原因。

封装光刻机是更为先进,占据了国内以上的市场,但他们也停留在赚这个能赚的钱上,对前道制造光刻机却没有那么热心了。

随后几个问题,倒是正常了一些,也有人问开放融资的问题。

不过,会议最后一天,安排了专门的融资对接会。

在贺明之后,欧普光电的冼珠峰汇报了他们常春光机厂和企业的研究进展和产品。

但汇报宣传嘛,自然是把自己的最好的地方大肆宣扬,问题浅浅略过不提。

即便是说是他们研制出来了百瓦级微小型垂直腔面发射半导体激光模块、高光束质量半导体激光切割光源等等产品,但更多的还停留在实验器阶段。

目前,欧普光电还是在光机电仪器、光电测控仪器、光学元器件等方面更具盛名。

一些惊爆眼球的研制成果,更多像是为了提升股票市值的宣传罢了。

不过,江成对他们提到的实验器的几个新研制的产品还是很感兴趣的。

倘若需要跳过浸没式光刻机,直接研制euv极紫外光刻机,那么重要的突破口,还是在欧普光电,或者是说常春光机所之上。

会后,江成轻拍了一下任非的肩膀,

“陈府私厨。”

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