第95章 技术探讨

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现在看来，把刘兵这种人物赶走显然也是有他自己的道理。

“说了这么多，但毕竟我不是光学和材料学的专业人员，有些事情还得靠你们。我们拿不到康尼公司给到的具体数据，因此只能是自己动手验证。”王向中叹了一口气道。

但是研究生们似乎压根不理会王向中的言论，只是近距离地观摩研究着这美轮美奂的精致设计，还不时发出赞叹之声。

“这些镜头的材料都是氟化物晶体，据我推测，康尼的物镜大概使用的是特殊合成石英，这种材料的透光率极高，国内暂时还搞不到。”

“目前来讲，有两种方案，第一种是加镜片，通过在狭小的空间内加入更多的镜片，从物理层面提升它的数值孔径；第二种是改装投影物镜镜头装置，通过技术层面来增加数值孔径。”

“受专业限制，我不知道哪种方法更现实，所以还要请各位师兄结合实际，验证一下这两项方案的可行性。”王向中补充道。

对于大数值孔径光刻投影物镜来说，除了完善的光学系统设计方案外，关键在于光学加工、装校、调整以及相关的测试。投影光刻物镜镜头装配的最终目标是严格按照理论设计的要求保证镜头中每个镜片的相对空间位置精度，其中最主要的是沿光轴方向的空气间隔和相邻镜片之间的偏心误差，对光学元件的空气间隔和偏心误差的检测精度往往在1/5到1/10微米之间。

“我认为第二种方法更可行。”此时，一个青年男子从人群中站起身来，“我是江超，和刘兵一样，都是物理系吴光教授手下的博士研究生，目前正在读博一，他是我的师兄。”

“第一种方案显然不太可行，康尼这款光刻机的整体钢骨架是固定的，加入更多的镜片就意味着相应的透镜组整体长度也要增加不少，要想把数值孔径提高到0.5，需要至少25片透镜，这个不太现实。”

“虽然设计上的难度其实不是特别大，从双高斯入手，一段段分裂透镜，改进足够久后总可能得到一个不错的结构形式。”

“但在投影光刻物镜镜头装配的过程中，子镜筒装配、镜筒级联装配、镜片偏心和空气间隔的检测以及单个镜片的位置调整等步骤是一个反复迭代进行的过程。并且镜片的空间位置检测以及单个镜片的位置调整具有相当高的实时性要求。”

“最重要的一点，”江超深深地叹了一口气，愁容满面道：“我们搞不到镜片。”

众人听到江超的一番话，皆是陷入了沉思之中。

的确如江超所言，光刻机镜头的最大难度不在设计，而在于工艺实现这一步，不仅是材料很难搞，合成石英需要降应力、提纯度、去气泡条纹，还有超高面型精度的镜片加工，打磨、测量、装配等等工作都够他们一群人吃一壶了。

所以应用现有的镜头结构，通过部分技术参数的调整，同样也可以实现数值孔径提高的要求。

“我有一个大胆的想法，斗胆一说，还请大家多多分辨分辨。”江超调整了一下护目镜，“我们可以尝试在照明上多做一些功夫，比如采用离轴照明法、四极照明法，环形照明法或者是倾斜照明法。”

“当然镜头上也要有改进，通过对温度、气压补偿来实现倍率补偿，从而改善线宽质量和提高分辨率！”