第150章 第二代光刻机下线

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王铭和陈蕊匆匆赶到光电所的时间已经有点晚，所长开玩笑道，“我还以为你今天不过来了呢！”</p>

王铭嘿嘿一笑，答道，“昨天出了点事情，今天过来晚了点，实在是抱歉。”</p>

所长摆摆手道，“跟你开玩笑呢，走，带你去看看新家伙。”</p>

所长带着他们来到研究所的无尘车间，众人换好无尘服后，进入里面，所长指着三台大型机器说道，“这三台就是你定制的第二代光刻机，采用你提供的双工件加工技术，芯片生产效率比老款提高了40%左右。”</p>

“这台光刻机可以生产0.8-0.35微米的各种制程芯片，良品率和工作效率都大幅提升。特别是在0.35微米芯片的生产上，一代产品良品率只要45%左右，这一代提高到了72%左右；上一代产品的一次性只能装载30块原晶，改进之后提高到了50块。”</p>

“这一代的产品怎么提升这么大的？”</p>

“还不是你提供的技术方向给了我们很大的启发，我们在这一块接触式光刻机方面本来就有比较深入的研究，接近式光刻机方面在81年就已经有了成品，在你带来的技术加持下，有这个成绩并不奇怪。”</p>

所长有些好奇问道，“这次一次性订购了三台，你能卖得出这么多芯片吗？”</p>

“这个你不用担心，现在我可是好几条产品线、好几样新产品蓄势待发，就差你这边的光刻机了！”王铭想起自己那些还停留在技术图纸上的产品，忍不住追问，“第三代扫描投影式光刻机的研发进展怎么样了？”</p>

“第三代扫描投影式光刻机我们这边也有技术储备，在85年的时候就已经成功研制出来，只是后面没有合适的产品应用，一直被束之高阁。”所长不由有点惋惜，“现在有了你这边的批量化生产的经验积累和提供的技术方案，在第三代光刻机方面的进展非常顺利。”</p>

“那多长时间能够用上？我估计第二代光刻机用不了两年就会被淘汰。”他解释道，“M国那边的第三代 光刻机现在应该已经进入成熟阶段，只是因为成本的问题，一直没有推广开来。现在有了我这条过江猛龙，想必最迟1998年就会批量生产第三代光刻机。”</p>

“放心，在第三代光刻机方面，我们肯定不会拖你的后腿，最迟今年年底，就可以试制完成。”所长指着一旁安装到一半的机器道，“这就是第三代机器了，目前的进度已经过半，加上之前的技术积累，年底完成不成问题。”</p>

“第三代光刻机创新性的使用光学投影式进行光刻，以扫描的方式实现曝光，光源也改进为248nm的KrF激光，最小工艺推进至了180-130nm，我们有把握将最低130nm制程的良品率至少提高到60%以上！”</p>

“也就是说最迟明年年底可以交付给我们使用？”</p>

所长点点头答道，“是的！准确来说，是明年上半年就可以交付。但是在第四代光刻机的进展非常缓慢，我们可能没办法给予你们太多的帮助。”</p>